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洁净室的等级测试是怎么进行的
发布时间:2020.05.27    来源:   浏览次数:
一测试前的准备
1. 应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。
2. 采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内或风管内粒径大于或等于0.5μm的尘粒数应为大于或等于30,000粒/升。如若不够,可引入烟雾,然后开始检漏。将粒子计数器或检漏装置的采样口距离高效空气过滤器2-3厘米处,可以2-4厘米/秒的速度移动,对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。
当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5μm的尘粒超过3粒/分·升或其穿透率大于0.01‰即认为该处有明显渗漏,必须进行堵漏。
二测试内容
1. 总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等;
2. 洁净室压力值;
3. 层流洁净室断面风速和气流流向;
4. 洁净工作区的洁净度;
5. 室内温度、湿度及其控制能力的调整测试;
6. 洁净室内噪声。
三洁净工作区空气洁净度的测试方法
对于粒径大于或等于0.5μm的尘粒计数,宜采用光散射粒子计数法,也可采用滤膜显微镜计数法。
光散射粒子计数法:
1. 光散射粒子计数器采样量100级:每次采样量大于或等于1升。1,000级-10,000级:每次采样量大于或等于0.3升。100,000级:每次采样量大于或等于0.1升。对于100级洁净室,宜采用大流量粒子计数器进行测试;如果条件不具备时,可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。
2. 采样注意事项:
①采样管必须干净,连接处严禁渗漏。
②采样管的长度,应根据仪器的允许长度。当无规定时,不宜大于1.5米。
③采样管口的流速,宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。
④采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。
3. 测点布置:
①检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时,取样高度宜为离地面1米。
②层流洁净室测点总数不小于20点,测点间距为0.5-2.0米,粒径大于或等于0.5μm的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点仅布置在第一洁净工作区内。
③乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点附图2。每增加20-50平方米,增加3-5个测点。
4. 数据整理:
①每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样,取其平均值,即为该点的实测数值。
②对于大于或等于0.5μm的尘粒数确定:层流洁净室取各测定点最大值,乱流洁净室取各测点的平均值。
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